A capa d'ossidu termale di una wafer di siliciu hè una capa d'ossidu o una capa di silice formata nantu à a superficia nuda di una wafer di siliciu in cundizioni d'alta temperatura cù un agenti oxidante.A capa d'ossidu termale di wafer di siliciu hè generalmente cultivata in un furnace di tubu horizontale, è a gamma di temperatura di crescita hè generalmente 900 ° C ~ 1200 ° C, è ci sò dui modi di crescita di "ossidazione umida" è "ossidazione secca".A capa d'ossidu termale hè una strata d'ossidu "cresciuta" chì hà una homogeneità più altu è una forza dielettrica più altu ch'è a capa d'ossidu depositata CVD.A capa d'ossidu termale hè una excelente capa dielettrica cum'è insulator.In parechji dispositi basati in siliciu, a strata di l'ossidu termale ghjoca un rolu impurtante cum'è una strata di bloccu di doping è dielettricu di superficia.
Cunsiglii: tipu d'ossidazione
1. Oxidazione secca
U siliciu reagisce cù l'ossigenu, è a capa d'ossidu si move versu a capa basale.L'ossidazione secca deve esse realizatu à una temperatura di 850 à 1200 ° C, è u ritmu di crescita hè bassu, chì pò esse usatu per a crescita di a porta d'insulazione MOS.Quandu hè necessariu una capa d'ossidu di siliciu ultra-sottile di alta qualità, l'ossidazione secca hè preferita à l'ossidazione umida.
Capacità di ossidazione secca: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. Oxidazione umida
Stu metudu usa una mistura di l'idrogenu è l'ossigenu d'alta purezza per brusgià à ~ 1000 ° C, cusì pruduce vapore d'acqua per furmà una capa d'oxidu.Ancu s'è l'ossidazione bagnata ùn pò micca pruduce una strata d'ossidazione d'alta qualità cum'è l'ossidazione secca, ma abbastanza per esse usata cum'è una zona d'isolazione, paragunata à l'ossidazione secca hà un vantaghju chjaru hè chì hà un ritmu di crescita più altu.
Capacità di ossidazione umida: 50 nm ~ 15 µm (500 A ~ 15 µm)
3. Metudu seccu - mètudu bagnatu - mètudu seccu
In questu metudu, l'ossigenu seccu puru hè liberatu in u furnace d'ossidazione in a fase iniziale, l'idrogenu hè aghjuntu à u mità di l'ossidazione, è l'idrogenu hè almacenatu à a fine per cuntinuà l'ossidazione cù l'ossigenu seccu puru per furmà una struttura d'ossidazione più densa chì. u prucessu d'ossidazione umida cumuni in forma di vapore d'acqua.
4. TEOS oxidation
| Tecnica d'ossidazione | Ossidazione umida o ossidazione secca |
| Diamitru | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Spessore di l'ossidu | 100 Å ~ 15µm |
| Tolleranza | +/- 5% |
| Superficie | Ossidazione di un latu (SSO) / Ossidazione di u latu duppiu (DSO) |
| Furnace | Furnace à tubu horizontale |
| Gas | Idrogenu è ossigenu gasu |
| Temperature | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Indice di rifrazione | 1.456 |
