Substratu Ga2O3

Descrizione breve:

Ga2O3Sustrattu- Sbloccate novi pussibulità in l'elettronica di putenza è l'optoelettronica cù Semicera's Ga2O3Substratu, ingegneriatu per un rendimentu eccezziunale in applicazioni di alta tensione è alta frequenza.


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Semicera hè fiera di presentà uGa2O3Sustrattu, un materiale di punta pronta à rivoluzionari l'elettronica di putenza è l'optoelettronica.Ossidu di Gallium (Ga2O3) sustratisò cunnisciuti per u so bandgap ultra-largu, chì li facenu ideali per i dispositi d'alta putenza è di freccia alta.

 

Funzioni chjave:

• Ultra-Wide Bandgap: Ga2O3 offre un bandgap di circa 4.8 eV, aumentendu significativamente a so capacità di trattà alti voltaggi è temperature paragunate à i materiali tradiziunali cum'è Silicon è GaN.

• High Breakdown Voltage: Cù un campu di breakdown eccezziunale, uGa2O3Sustrattuhè perfettu per i dispositi chì necessitanu un funziunamentu d'alta tensione, assicurendu una più efficienza è affidabilità.

• Stabilità termale: A stabilità termale superiore di u materiale hè adattatu per l'applicazioni in ambienti estremi, mantenendu u rendiment ancu in cundizioni duri.

• Applicazioni versatile: Ideale per l'usu in transistors di putenza d'alta efficienza, dispusitivi optoelettronici UV, è più, furnisce una basa robusta per sistemi elettronichi avanzati.

 

Pruvate u futuru di a tecnulugia di semiconductor cù Semicera'sGa2O3Sustrattu. Cuncepitu per risponde à e crescente richieste di l'elettronica d'alta putenza è d'alta frequenza, stu sustrato stabilisce un novu standard per u rendiment è a durabilità. Affidati a Semicera per furnisce soluzioni innovative per e vostre applicazioni più impegnative.

Articuli

Pruduzzione

Ricerca

Dummy

Parametri Crystal

Politipu

4H

Errore di orientazione di a superficia

<11-20>4 ± 0,15 °

Parametri elettrici

Dopantu

Nitrogenu di tipu n

Resistività

0,015-0,025 ohm·cm

Parametri meccanichi

Diamitru

150,0 ± 0,2 mm

Spessore

350±25 μm

Orientazione pianu primaria

[1-100] ± 5 °

Lunghezza piatta primaria

47,5 ± 1,5 mm

Pianu secundariu

Nimu

TTV

≤5 μm

≤ 10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

arcu

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤ 35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rugosità frontale (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Struttura

Densità di micropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ca/cm2

impurità metalliche

≤5E10atomi/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ca/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Qualità Frontale

Fronte

Si

Finitura di a superficia

Si-face CMP

Particelle

≤60ea/wafer (taglia ≥0.3μm)

NA

Scratchs

≤5ea/mm. Lunghezza cumulativa ≤Diametru

Lunghezza cumulativa ≤2 * Diametru

NA

Buccia d'arancia / buche / macchie / striature / crepe / contaminazione

Nimu

NA

Chips di bordu / indentazioni / frattura / piastre esagonali

Nimu

Zone polytype

Nimu

Area cumulativa ≤ 20%

Area cumulativa ≤ 30%

Marcatura laser frontale

Nimu

Back Quality

Finitura di daretu

C-face CMP

Scratchs

≤5ea/mm, Lunghezza cumulativa ≤2 * Diametru

NA

Difetti in daretu (chips di bordu / indentazioni)

Nimu

Rugosità di u spinu

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcatura laser posteriore

1 mm (da u bordu superiore)

Edge

Edge

Smusso

Imballaggio

Imballaggio

Epi-ready cun imballaggio in vacuum

Imballaggio di cassette multi-wafer

*Note: "NA" significa senza dumanda Articuli micca citati ponu riferite à SEMI-STD.

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Wafers di SiC

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