Susceptor EPI di rivestimentu CVD di carburu di tantalu

Tantaliu Carbide CVD Coating EPI Susceptor Featured Image

Descrizione breve:

U grafite hè un materiale eccellente à alta temperatura, ma s'ossida facilmente à e alte temperature. Ancu in i forni di vacuum cù gas inerte, pò ancu sottumessu à l'oxidazione lenta. Utilizà un revestimentu di carburu di tantalu CVD (TaC) pò prutege efficacemente u sustrato di grafite, chì furnisce a stessa resistenza à alta temperatura cum'è u grafitu. TaC hè ancu un materiale inerte, chì significa chì ùn reagisce micca cù gasi cum'è l'argon o l'idrogenu à alte temperature.InchiestaSusceptor EPI di rivestimentu CVD di carburu di tantalu avà !

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Semicera furnisce rivestimenti specializati di carburu di tantalu (TaC) per vari cumpunenti è trasportatori.U prucessu di rivestimentu di punta di Semicera permette à i rivestimenti di carburu di tantalu (TaC) per ottene una alta purezza, stabilità à alta temperatura è alta tolleranza chimica, migliurà a qualità di u produttu di cristalli SIC / GAN è strati EPI (Susceptor TaC rivestitu di grafite), è allargendu a vita di i cumpunenti chjave di u reattore. L'usu di u revestimentu di carburu di tantalu TaC hè di risolviri u prublema di u bordu è di migliurà a qualità di a crescita di cristalli, è Semicera hà avanzatu risolviu a tecnulugia di rivestimentu di carburu di tantalu (CVD), ghjunghje à u livellu avanzatu internaziunale.

Dopu à anni di sviluppu, Semicera hà cunquistatu a tecnulugia diCVD TaCcù i sforzi cumuni di u dipartimentu R&D. I difetti sò faciuli à accade in u prucessu di crescita di wafers SiC, ma dopu l'usuTaC, a diferenza hè significativa. Sottu hè un paraguni di wafers cù è senza TaC, oltri a parti Simicera 'per crescita single cristallu.

Rivestimentu di carburu di tantalu d'alta efficienza_ migliurà l'efficienza di a produzzione industriale è riduce i costi di mantenimentu Image Featured Image

Parte Tac per a crescita di cristalli unichi

Rivestimentu antiusura di carburu di tantalu_ Prutegge l'equipaggiu da l'usura è a corrosione Image Featured Image

Grafite cù anellu rivestitu di TaC

cù è senza TaC

Dopu aduprà TaC (diritta)

In più, Semicera'sI prudutti rivestiti di TaCmostranu una vita di serviziu più longa è una resistenza à alta temperatura più granderivestimenti SiC.E misurazioni di u laboratoriu anu dimustratu chì i nostririvestimenti TaCpò esse realizatu in modu coerente à temperature finu à 2300 gradi Celsius per periodi estesi. Eccu alcuni esempi di i nostri campioni: