Plaque support suscepteur recouverte de carbure de tantalehè un susceptor o struttura di supportu chì hè cupartu cù una fina capa dicarburu di tantalu. Stu revestimentu pò esse furmatu nantu à a superficia di u susceptor per tecniche cum'è a deposizione fisica di vapore (PVD) o a deposizione di vapore chimicu (CVD), dendu à u susceptor e proprietà superiore dicarburu di tantalu.
Semicera furnisce rivestimenti specializati di carburu di tantalu (TaC) per vari cumpunenti è trasportatori.U prucessu di rivestimentu di punta di Semicera permette à i rivestimenti di carburu di tantalu (TaC) per ottene una alta purezza, stabilità à alta temperatura è alta tolleranza chimica, migliurà a qualità di u produttu di cristalli SIC / GAN è strati EPI (Susceptor TaC rivestitu di grafite), è allargendu a vita di i cumpunenti chjave di u reattore. L'usu di u revestimentu di carburu di tantalu TaC hè di risolviri u prublema di u bordu è di migliurà a qualità di a crescita di cristalli, è Semicera hà avanzatu risolviu a tecnulugia di rivestimentu di carburu di tantalu (CVD), ghjunghje à u livellu avanzatu internaziunale.
Dopu à anni di sviluppu, Semicera hà cunquistatu a tecnulugia diCVD TaCcù i sforzi cumuni di u dipartimentu R&D. I difetti sò faciuli à accade in u prucessu di crescita di wafers SiC, ma dopu l'usuTaC, a diferenza hè significativa. Sottu hè un paraguni di wafers cù è senza TaC, oltri a parti Simicera 'per crescita single cristallu.
E caratteristiche principali di i platti di supportu di basa di carburu di tantalu includenu:
1. Stabilità à a temperatura alta: u carburu di tantalu hà una stabilità d'alta temperatura eccellenti, facendu a piastra di supportu di basa rivestita adattata per i bisogni di supportu in ambienti di travagliu d'alta temperatura.
2. Resistenza à a corrosione: u revestimentu di carburu di tantalu hà una bona resistenza à a corrosione, resiste à a corrosione chimica è à l'ossidazione, è allargà a vita di serviziu di a basa.
3. Alta durezza è resistenza à l'usura: L'alta durezza di u revestimentu di carburu di tantalu dà à a piastra di supportu di basa una bona resistenza à l'usura, chì hè adattatu per l'occasioni chì necessitanu una alta resistenza à l'usura.
4. Stabilità chimica: u carburu di tantalu hà una alta stabilità à una varietà di sustanzi chimichi, facendu chì a piastra di supportu di basa rivestita facia bè in certi ambienti corrosivi.
cù è senza TaC
Dopu aduprà TaC (diritta)
In più, Semicera'sI prudutti rivestiti di TaCmostranu una vita di serviziu più longa è una resistenza à alta temperatura più granderivestimenti SiC.E misurazioni di u laboratoriu anu dimustratu chì i nostririvestimenti TaCpò esse realizatu in modu coerente à temperature finu à 2300 gradi Celsius per periodi estesi. Eccu alcuni esempi di i nostri campioni:
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Suscettore di grafite MOCVD LED UV Profondu Rivestitu TaC
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Anellu persunalizatu rivestitu di CVD TaC
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Placca di grafite di rivestimentu di carburu di tantalu
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Anneau revêtu de carbure de tantale (TaC).
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Rivestimenti in carbure di tantale (TaC) cù alta purità ...
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Anneau en graphite recouvert de carbure de tantale