Semicera furnisce rivestimenti specializati di carburu di tantalu (TaC) per vari cumpunenti è trasportatori.U prucessu di rivestimentu di punta di Semicera permette à i rivestimenti di carburu di tantalu (TaC) per ottene una alta purezza, stabilità à alta temperatura è alta tolleranza chimica, migliurà a qualità di u produttu di cristalli SIC / GAN è strati EPI (Susceptor TaC rivestitu di grafite), è allargendu a vita di i cumpunenti chjave di u reattore. L'usu di u revestimentu di carburu di tantalu TaC hè di risolviri u prublema di u bordu è di migliurà a qualità di a crescita di cristalli, è Semicera hà avanzatu risolviu a tecnulugia di rivestimentu di carburu di tantalu (CVD), ghjunghje à u livellu avanzatu internaziunale.
I trasportatori di wafer rivestiti di carburu di tantalu sò largamente usati in i prucessi di trasfurmazioni è di manipulazione di wafer in i prucessi di fabricazione di semiconduttori. Forniscenu un supportu stabile è prutezzione per assicurà a sicurezza, a precisione è a coerenza di i wafers durante u prucessu di fabricazione. I rivestimenti di carburu di tantalu ponu allargà a vita di serviziu di u trasportatore, riduce i costi, è migliurà a qualità è l'affidabilità di i prudutti di i semiconduttori.
A descrizzione di u trasportatore di wafer rivestitu di carburu di tantalu hè a seguente:
1. Selezzione di materiale: Carbide di tantalu hè un materiale cù un rendimentu eccellente, una durezza alta, un altu puntu di fusione, una resistenza à a corrosione è e proprietà meccaniche eccellenti, per quessa hè largamente utilizatu in u prucessu di fabricazione di semiconductor.
2. Revestimentu di a superficia: U revestimentu di carburu di tantalu hè appiicatu à a superficia di u trasportatore di wafer attraversu un prucessu di revestimentu speciale per furmà un revestimentu di carburu di tantalu uniforme è densu. Stu revestimentu pò furnisce una prutezzione supplementaria è resistenza à l'usura, mentre chì avè una bona conductività termale.
3. Flatness è pricisioni: Tantaliu carbide rivestitu wafer carrier hà un altu gradu di flatness è pricisioni, assicurendu a stabilità è precisione di wafers durante u prucessu di fabricazione. A flatness è a finitura di a superficia di u trasportatore sò critichi per assicurà a qualità è u rendiment di l'ostia.
4. Stabilità di temperatura: i trasportatori di wafer rivestiti di carburu di tantalu ponu mantene a stabilità in ambienti d'alta temperatura senza deformazione o loosening, assicurendu a stabilità è a coherenza di wafers in i prucessi d'alta temperatura.
5. Resistenza à a corrosione: i rivestimenti di carbure di tantalu anu una resistenza à a corrosione eccellente, ponu resiste à l'erosione di sustanzi chimichi è solventi, è prutegge u trasportatore da a corrosione di liquidu è di gas.
cù è senza TaC
Dopu aduprà TaC (diritta)
In più, Semicera'sI prudutti rivestiti di TaCmostranu una vita di serviziu più longa è una resistenza à alta temperatura più granderivestimenti SiC.E misurazioni di u laboratoriu anu dimustratu chì i nostririvestimenti TaCpò esse realizatu in modu coerente à temperature finu à 2300 gradi Celsius per periodi estesi. Eccu alcuni esempi di i nostri campioni:
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Piastra planetaria di rivestimentu di carburu di tantalu (TaC).
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Tantaliu Carbide TaC CVD Rivestimentu Custom Parts
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Riscaldatore MOCVD in carburu di tantalu
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Coperchi rivestiti in carburu di tantalu
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Piastra di Supportu di Pedestal di Rivestimentu di Carburu di Tantalu
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Tantaliu Carbide TaC CVD Coating Wafer Susceptor