Rivestimentu TaChè un revestimentu di materiale impurtante, chì hè di solitu preparatu nantu à una basa di grafite da a tecnulugia di depositu di vapore chimicu organicu (MOCVD). Stu revestimentu hà proprietà eccellenti, cum'è una durezza elevata, una resistenza eccellente à l'usura, una resistenza à alta temperatura è una stabilità chimica, è hè adattatu per diverse applicazioni di ingegneria d'alta dumanda.
A tecnulugia MOCVD hè una tecnulugia di crescita di film sottile chì deposita u film compostu desideratu nantu à a superficia di u sustrato reagendu i precursori organici di metalli cù gasi reattivi à alte temperature. Quandu si preparanuRivestimentu TaC, selezziunendu precursori organici di metalli appropritati è fonti di carbonu, cuntrullà e cundizioni di reazzione è i paràmetri di depositu, un film TaC uniforme è densu pò esse dipositu nantu à una basa di grafite.
Semicera furnisce rivestimenti specializati di carburu di tantalu (TaC) per vari cumpunenti è trasportatori.U prucessu di rivestimentu di punta di Semicera permette à i rivestimenti di carburu di tantalu (TaC) per ottene una alta purezza, stabilità à alta temperatura è alta tolleranza chimica, migliurà a qualità di u produttu di cristalli SIC / GAN è strati EPI (Susceptor TaC rivestitu di grafite), è allargendu a vita di i cumpunenti chjave di u reattore. L'usu di u revestimentu di carburu di tantalu TaC hè di risolviri u prublema di u bordu è di migliurà a qualità di a crescita di cristalli, è Semicera hà avanzatu risolviu a tecnulugia di rivestimentu di carburu di tantalu (CVD), ghjunghje à u livellu avanzatu internaziunale.
Dopu à anni di sviluppu, Semicera hà cunquistatu a tecnulugia diCVD TaCcù i sforzi cumuni di u dipartimentu R&D. I difetti sò faciuli à accade in u prucessu di crescita di wafers SiC, ma dopu l'usuTaC, a diferenza hè significativa. Sottu hè un paraguni di wafers cù è senza TaC, oltri a parti Simicera 'per crescita single cristallu.
cù è senza TaC
Dopu aduprà TaC (diritta)
In più, Semicera'sI prudutti rivestiti di TaCmostranu una vita di serviziu più longa è una resistenza à alta temperatura più granderivestimenti SiC.E misurazioni di u laboratoriu anu dimustratu chì i nostririvestimenti TaCpò esse realizatu in modu coerente à temperature finu à 2300 gradi Celsius per periodi estesi. Eccu alcuni esempi di i nostri campioni:
