Anelli guida in grafite rivestiti in TaCriferite à a deposizione di una capa fina dicarburu di tantalunantu à a superficia di un anellu di guida di grafite per migliurà a so resistenza à l'usura, a resistenza à a temperatura alta è a stabilità chimica. Stu revestimentu hè generalmente furmatu nantu à a superficia di un anellu di guida di grafite per tecniche cum'è a deposizione fisica di vapore (PVD) o a deposizione di vapore chimicu (CVD).
Semicera furnisce rivestimenti specializati di carburu di tantalu (TaC) per vari cumpunenti è trasportatori.U prucessu di rivestimentu di punta di Semicera permette à i rivestimenti di carburu di tantalu (TaC) per ottene una alta purezza, stabilità à alta temperatura è alta tolleranza chimica, migliurà a qualità di u produttu di cristalli SIC / GAN è strati EPI (Susceptor TaC rivestitu di grafite), è allargendu a vita di i cumpunenti chjave di u reattore. L'usu di u revestimentu di carburu di tantalu TaC hè di risolviri u prublema di u bordu è di migliurà a qualità di a crescita di cristalli, è Semicera hà avanzatu risolviu a tecnulugia di rivestimentu di carburu di tantalu (CVD), ghjunghje à u livellu avanzatu internaziunale.
Dopu à anni di sviluppu, Semicera hà cunquistatu a tecnulugia diCVD TaCcù i sforzi cumuni di u dipartimentu R&D. I difetti sò faciuli à accade in u prucessu di crescita di wafers SiC, ma dopu l'usuTaC, a diferenza hè significativa. Sottu hè un paraguni di wafers cù è senza TaC, oltri a parti Simicera 'per crescita single cristallu.
E caratteristiche principali di anelli di guida di grafite rivestiti di TaC includenu:
1. Resistenza à a temperatura alta: u revestimentu TaC hà una stabilità d'alta temperatura eccellente è pò mantene a stabilità in ambienti à alta temperatura.
2. Resistenza à l'usura: L'alta durezza di a strata fina di carburu di tantalu dà à l'anellu di guida una bona resistenza à l'usura è estende a so vita di serviziu.
3. Stabilità chimica: u revestimentu TaC hà una alta stabilità contr'à a corrosione chimica, facendu adattatu per l'applicazioni in certi media corrosivi.
4. Reduce l'attrito: u revestimentu TaC pò riduce in modu efficace l'attrito trà l'anellu di guida di grafite è altri cumpunenti è migliurà l'efficienza di i sigilli meccanichi.
cù è senza TaC
Dopu aduprà TaC (diritta)
In più, Semicera'sI prudutti rivestiti di TaCmostranu una vita di serviziu più longa è una resistenza à alta temperatura più granderivestimenti SiC.E misurazioni di u laboratoriu anu dimustratu chì i nostririvestimenti TaCpò esse realizatu in modu coerente à temperature finu à 2300 gradi Celsius per periodi estesi. Eccu alcuni esempi di i nostri campioni:
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Tubi di crescita di cristalli SiC cù tantalu avanzatu ...
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Tantaliu Carbide (TaC) Rivestitu Wafer Susceptor
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Crucible di rivestimentu di carburu di tantalu
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Susceptor rivestitu di carburu di tantalu (TaC) per Epi ...
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Tantaliu Carbide TaC CVD Coating Wafer Susceptor
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Anneau en graphite recouvert de carbure de tantale (TaC).