Campu d'applicazione
1. Circuit integratu high-vitezza
2. Dispositivi microwave
3. Circuit integratu High temperature
4. dispusitivi Power
5. Circuit integratu Low power
6. MEMS
7. Circuit integratu Low voltage
Articulu | Argumentu | |
In generale | Diametru di wafer | 50/75/100/125/150/200mm ± 25um |
Arcu / Warp | <10um | |
Particelle | 0.3um <30ea | |
Flats/Notch | Flat o Notch | |
Exclusion Edge | / | |
Layer di u dispusitivu | Device-layer Type/Dopant | N-Type/P-Type |
Orientazione di u dispusitivu | <1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> | |
Spessore di u dispusitivu | 0.1 ~ 300um | |
Resistività di u dispusitivu | 0.001 ~ 100.000 ohm-cm | |
Particelle di u dispusitivu | <30ea@0.3 | |
Device Layer TTV | <10um | |
Device Layer Finish | Pulitu | |
BOX | Spessore di l'ossidu termale enteratu | 50nm (500Å) ~ 15um |
Maniglia Layer | Maniglia Tipu Wafer / Dopant | N-Type/P-Type |
Manipulu l'Orientazione di Wafer | <1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> | |
Maneggiare a resistenza di wafer | 0.001 ~ 100.000 ohm-cm | |
Spessore di Wafer di maniglia | > 100 um | |
Maniglia Wafer Finish | Pulitu | |
I wafers SOI di specificazioni di destinazione ponu esse persunalizati secondu e esigenze di i clienti. |