A SemiceraSiC Cantilever Wafer Paddlehè cuncepitu per risponde à e esigenze di a fabricazione moderna di semiconduttori. Questupala di waferoffre una forza meccanica eccellente è una resistenza termica, chì hè critica per a manipulazione di wafers in ambienti à alta temperatura.
U disignu di cantilever SiC permette un piazzamentu precisu di wafer, riducendu u risicu di danni durante a manipulazione. A so alta conduttività termale assicura chì a wafer resta stabile ancu in cundizioni estremi, chì hè critica per mantene l'efficienza di a produzzione.
In più di i so vantaghji strutturali, Semicera'sSiC Cantilever Wafer Paddleoffre ancu vantaghji in u pesu è a durabilità. A custruzzione ligera facilita a gestione è l'integrazione in i sistemi esistenti, mentre chì u materiale SiC d'alta densità assicura una durabilità longa in cundizioni esigenti.
| Proprietà fisiche di Carburo di Siliciu Recristallizatu | |
| Pruprietà | Valore tipicu |
| Température de travail (°C) | 1600 ° C (cù l'ossigenu), 1700 ° C (ambienti riduzzione) |
| cuntenutu SiC | > 99,96% |
| Cuntinutu Si gratuitu | < 0,1% |
| Densità di massa | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Porosità apparente | < 16% |
| Forza di cumpressione | > 600 MPa |
| Forza di curvatura à freddo | 80-90 MPa (20°C) |
| Forza di curvatura calda | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| Dilatazione termica @ 1500 ° C | 4,70 10-6/°C |
| Conduttività termica @ 1200 ° C | 23 W/m•K |
| Modulu elasticu | 240 GPa |
| Resistenza di scossa termale | Moltu bè |
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