Descrizzione
I Suscettori di Wafer SiC di Semicorex per MOCVD (Deposizione di Vapore Chimica Metal-Organica) sò progettati per risponde à e richieste esigenti di i prucessi di deposizione epitassiale. Utilizendu u Carburo di Siliciu (SiC) di alta qualità, questi suscettori offrenu una durabilità è un rendimentu senza paragone in ambienti à alta temperatura è corrosivi, assicurendu a crescita precisa è efficiente di materiali semiconduttori.
Funzioni chjave:
1. Pruprietà Material SuperiorCustruiti da SiC di alta qualità, i nostri suscettori di wafer mostranu una conduttività termica eccezziunale è una resistenza chimica. Queste proprietà li permettenu di resiste à e cundizioni estremi di i prucessi MOCVD, cumprese l'alte temperature è i gasi corrosivi, assicurendu a longevità è a prestazione affidabile.
2. Precision in Deposition EpitaxialL'ingegneria precisa di i nostri SiC Wafer Susceptors assicura una distribuzione uniforme di a temperatura in tutta a superficia di wafer, facilitendu una crescita di strati epitassiali coherente è di alta qualità. Questa precisione hè critica per a produzzione di semiconduttori cù proprietà elettriche ottimali.
3. Durabilità EnhancedU robustu materiale SiC furnisce una resistenza eccellente à l'usura è a degradazione, ancu sottu esposizione continua à ambienti di processu duri. Questa durabilità riduce a freccia di rimpiazzamentu di i suscettori, minimizendu i tempi di inattività è i costi operativi.
Applicazioni:
I suscettori di wafer SiC di Semicorex per MOCVD sò ideali per:
• Crescita epitaxial di materiali semiconductor
• prucessi MOCVD High-temperatur
• Pruduzzione di GaN, AlN, è altri semiconduttori cumposti
• Applicazioni avanzata di fabricazione di semiconductor
Specificazioni principali di i rivestimenti CVD-SIC:
Beneficii:
•Alta precisione: Assicura una crescita epitaxial uniforme è di alta qualità.
•Prestazione à longu andà: A durabilità eccezziunale riduce a frequenza di rimpiazzamentu.
• Cost-Efficiency: Minimizza i costi operativi per via di i tempi di inattività è di mantenimentu ridotti.
•Versatilità: Customizable per adattà à diverse esigenze di prucessu MOCVD.