RTPAnelli CVD SiCsò largamente usati in campi industriali è scientifichi in ambienti alta temperatura è corrosivu. Ghjoca un rolu impurtante in a fabricazione di semiconduttori, optoelettronica, machini di precisione è industria chimica. Applicazioni specifiche includenu:
1. Fabbricazione di semiconductor:RTP CVD SiC anellipò esse usatu per riscaldamentu è rinfrescante di l'equipaggiu di semiconductor, furnisce un cuntrollu di temperatura stabile è assicurendu a precisione è a coherenza di u prucessu.
2. Optoelettronica: Per via di a so eccellenti conduttività termale è a resistenza à alta temperatura, RTPAnelli CVD SiCpò esse usatu cum'è materiali di supportu è di dissipazione di calore per i laser, l'equipaggiu di cumunicazione in fibra ottica è i cumpunenti ottici.
3. Macchinari di precisione: RTP CVD SiC rings pò ièssiri usatu per i strumenti di precisione è l'equipaggiu in ambienti alta temperatura è corrosivu, cum'è furnace d'alta temperatura, dispusitivi vacuum è reattori chimichi.
4. Industria chimica: A causa di a so resistenza à a corrosione è a stabilità chimica, l'anelli RTP CVD SiC ponu esse usatu in cuntenituri, tubi è reattori in reazzioni chimichi è prucessi catalitici.
Sistema Epi
Sistema RTP
Sistema CVD
Prestazione di u produttu:
1. Meet u prucessu sottu 28nm
2. Super resistenza à a corrosione
3. Prestazione super pulita
4. Super durezza
5. Alta densità
6. Resistenza altu temperature
7. Resistenza à l'usura
Applicazione di u produttu:
I materiali di carburu di siliciu anu e caratteristiche di alta durezza, resistenza à l'usura, resistenza à a corrosione è stabilità à alta temperatura. I prudutti cù un rendimentu cumpletu eccellente sò largamente usati in i prucessi di incisione secca è TF / Diffusion.
Prestazione di u produttu:
1. Meet u prucessu sottu 28nm
2. Super resistenza à a corrosione
3. Prestazione super pulita
4. Super durezza
5. Alta densità
6. Resistenza altu temperature
7. Resistenza à l'usura
Sviluppu di prucessu cumpostu:
• Graphite + Coating SiC
• Solide CVD SiC
• SiC + CVD sinterizzati
• SicSintered SiC
Sviluppu di parechji tippi di produttu:
• Anellu
• Table
• Susceptor
• Duscia