Barca isostatica in grafite PECVD

Isostatic PECVD Graphite Boat Featured Image

Breve descrizzione:

A barca di grafite isostatica PECVD hè largamente usata in parechji ligami di a fabricazione di semiconductori, cum'è a deposizione di film di polisiliconu, a deposizione di film d'ossidu, a deposizione di film di nitruru, etc. U so eccellenti rendiment face un trasportatore di wafer ideale in u prucessu PECVD.

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A barca di grafite isostatica SEMICERA PECVD hè un pruduttu di grafite d'alta purezza è d'alta densità cuncepitu per u supportu di wafer in u prucessu PECVD (depositu di vapore chimicu rinforzatu di plasma). SEMICERA usa una tecnulugia di pressa isostatica avanzata per assicurà chì a barca di grafite hà una eccellente resistenza à a temperatura alta, resistenza à a corrosione, stabilità dimensionale è una bona conduttività termale, chì hè un consumable indispensabile in u prucessu di fabricazione di semiconductor.

L'imbarcazione in grafite PECVD isostatic SEMICERA hà i seguenti vantaghji:

▪ Purità alta: U materiale di grafite hè di alta purità è cuntenutu di impurità bassu per evità a contaminazione di a superficia di l'ostia.

▪ Alta densità: Alta densità, alta forza meccanica, pò sustene a temperatura alta è l'ambiente di vacuum altu.

▪ Bona stabilità dimensionale: Picculu cambiamentu dimensionale à alta temperatura per assicurà a stabilità di u prucessu.

▪ Eccellente conduttività termica: Trasferisce in modu efficace u calore per prevene u surriscaldamentu di wafer.

▪ Forte resistenza à a corrosione: Capacità di resiste à l'erosione da diversi gasi corrosivi è plasma.

Parametru di rendiment	semicera	SGL R6510	Parametru di rendiment
Densità apparente (g/cm3)	1.91	1.83	1,85
Forza di flessione (MPa)	63	60	49
Forza à compressione (MPa)	135	130	103
Durezza Shore (HS)	70	64	60
Coefficient di espansione termica (10-6/K)	85	105	130
Coefficient di espansione termica (10-6/K)	5,85	4.2	5.0
resistività (μΩm)	11-13	13	10

Vantaggi di sceglie noi:
▪ Selezzione di materiale: Materiali di grafite d'alta purezza sò usati per assicurà a qualità di u produttu.
▪ Tecnulugia di trasfurmazioni: Pressing isostatic hè adupratu per assicurà a densità di u produttu è l'uniformità.
▪ Personalizazione di dimensioni: barche di grafite di diverse dimensioni è forme ponu esse persunalizate secondu i bisogni di i clienti.
▪ Trattamentu di a superficia: Una varietà di metudi di trattamentu di a superficia sò furnite, cum'è u revestimentu di carburu di siliciu, nitruru di boru, etc., per risponde à e diverse esigenze di prucessu.