Semicera High PurityPalette en carbure de siliciumhè meticulosamente ingegneria per risponde à e strette richieste di i prucessi muderni di fabricazione di semiconduttori. QuestuSiC Cantilever Paddleeccelle in ambienti à alta temperatura, offre una stabilità termica senza pari è una durabilità meccanica. A struttura SiC Cantilever hè custruita per resiste à e cundizioni estremi, assicurendu una manipulazione affidabile di wafer in diversi prucessi.
Una di l'innuvazioni chjave di uSiC Paddlehè u so disignu liggeru ma robustu, chì permette una integrazione faciule in i sistemi esistenti. A so alta conduttività termale aiuta à mantene a stabilità di l'ostia durante e fasi critiche cum'è l'incisione è a deposizione, minimizendu u risicu di danni à l'ostia è assicurendu rendimenti di produzzione più altu. L'usu di carburu di siliciu d'alta densità in a custruzzione di paddle aumenta a so resistenza à l'usura, furnisce una vita operativa estesa è riducendu a necessità di rimpiazzamenti frequenti.
Semicera mette un forte enfasi nantu à l'innuvazione, furnisce aSiC Cantilever Paddlechì ùn solu risponde, ma supera i standard di l'industria. Questa paleta hè ottimizzata per l'usu in diverse applicazioni di semiconduttori, da a deposizione à l'incisione, induve a precisione è l'affidabilità sò cruciali. Integrà sta tecnulugia d'avanguardia, i fabricatori ponu aspittà una efficienza mejorata, costi di mantenimentu ridotti è una qualità consistente di u produttu.
| Proprietà fisiche di Carburo di Siliciu Recristallizatu | |
| Pruprietà | Valore tipicu |
| Température de travail (°C) | 1600 ° C (cù l'ossigenu), 1700 ° C (ambienti riduzzione) |
| cuntenutu SiC | > 99,96% |
| Cuntinutu Si gratuitu | < 0,1% |
| Densità di massa | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Porosità apparente | < 16% |
| Forza di cumpressione | > 600 MPa |
| Forza di curvatura à freddo | 80-90 MPa (20°C) |
| Forza di curvatura calda | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| Dilatazione termica @ 1500 ° C | 4,70 10-6/°C |
| Conduttività termica @ 1200 ° C | 23 W/m•K |
| Modulu elasticu | 240 GPa |
| Resistenza di scossa termale | Moltu bè |
