Susceptor di trasportatore di wafer di grafite rivestitu di SiC di alta purezza

Breve descrizzione:

U Susceptor Carrier SiC di Alta Purezza di Semicera hè cuncepitu per i prucessi avanzati di fabricazione di semiconduttori è LED, chì offre una stabilità termica eccezziunale è un rendimentu superiore à alte temperature. Fattu da carburu di siliciu d'alta purezza, stu suscettore assicura una distribuzione efficiente di u calore, una uniformità di prucessu mejorata è una durabilità aumentata. Ideale per MOCVD, CVD, è altre applicazioni à alta temperatura, u susceptor di trasportatore SiC di Semicera furnisce un rendimentu affidabile è di longa durata, aiutendu à ottimisà a vostra efficienza di produzzione è a qualità di u produttu.

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Detail di u produttu

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Descrizzione

A ceramica di carburu di siliciu hà proprietà meccaniche eccellenti à a temperatura di l'ambienti, cum'è alta resistenza, alta durezza, altu modulu elasticu, etc., hà ancu una eccellente stabilità à alta temperatura cum'è una alta conduttività termica, un bassu coefficient di espansione termica, è una bona rigidità specifica è otticu. prestazione di trasfurmazioni.
Sò adattati soprattuttu per a produzzione di parti ceramiche di precisione per equipaghji di circuiti integrati cum'è macchine di litografia, principarmenti aduprate per fabricà u trasportatore / suscettore SiC, barche di wafer SiC, discu di suzione, piastra di raffreddamentu d'acqua, riflettore di misurazione di precisione, griglia è altre parti strutturali ceramiche.

traspurtadore 2

traspurtadore 3

traspurtadore 4

Vantaghji

Resistenza à alta temperatura: usu normale à 1800 ℃
Alta conduttività termica: equivalente à u materiale di grafite
Durezza alta: durezza seconda solu à u diamante, nitruru di boru
Resistenza à a corrosione: l'acidu forte è l'alkali ùn anu micca corrosione, a resistenza à a corrosione hè megliu cà u carburu di tungstenu è l'alumina.
Pesu ligeru: bassa densità, vicinu à l'aluminiu
Nisuna deformazione: bassu coefficiente di espansione termica
Resistenza à u scossa termica: pò resiste à forti cambiamenti di temperatura, resiste à u scossa termica è hà un rendimentu stabile
U trasportatore di carburu di silicuu cum'è u trasportatore di incisione sic, susceptor d'incisione ICP, sò largamente utilizati in semiconductor CVD, sputtering vacuum etc. Pudemu furnisce i clienti cù trasportatori di wafer persunalizati di materiali di siliciu è di carburu di siliciu per scuntrà diverse applicazioni.

Vantaghji

Pruprietà	Valore	Metudu
Densità	3,21 g/cc	Sink-float è dimensione
Calore specificu	0,66 J/g °K	Flash laser pulsatu
Forza Flexural	450 MPa 560 MPa	Curvatura à 4 punti, curvatura à 4 punti RT, 1300 °
Tenacità di frattura	2,94 MPa m1/2	Microindentazione
Durezza	2800	Vicker's, carica di 500 g
Modulu elasticu Modulu di Young	450 GPa 430 GPa	4 pt bend, RT4 pt bend, 1300 °C
Grandezza di granu	2-10 µm	SEM

Profilu di a cumpagnia

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. hè un fornitore di punta di ceramica semiconductora avanzata è l'unicu fabricatore in Cina chì pò furnisce simultaneamente ceramica di carburu di siliciu di alta purezza (in particulare u SiC Recristallizatu) è un rivestimentu CVD SiC. Inoltre, a nostra cumpagnia hè ancu impegnata in i campi di ceramica cum'è l'alumina, nitruru d'aluminiu, zirconia è nitruru di siliciu, etc.

I nostri prudutti principali includenu: discu di incisione in carburu di siliciu, rimorchiu di barca in carburu di siliciu, barca di wafer di carburu di siliciu (fotovoltaicu è semiconduttore), tubu di fornu in carburu di siliciu, paddle cantilever in carburu di siliciu, mandrini in carburu di siliciu, fasciu di carburu di siliciu, è ancu u rivestimentu CVD SiC è TaC. rivestimentu. I prudutti principarmenti usati in l'industria di semiconductor è fotovoltaica, cum'è l'equipaggiu per a crescita di cristalli, epitassi, incisione, imballaggio, rivestimenti è forni di diffusione, etc.
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