Carrier/Susceptor SiC di alta purezza

Purezza SiC Carrier / Susceptor Featured Image

Descrizione breve:

U discu di cuscinettu di carburu di siliciu hè cunnisciutu ancu com'è vassou SIC, discu di incisione di carburu di siliciu, discu di incisione ICP. Le plateau en carbure de silicium pour la gravure à LED (plateau SiC) φ600 mm est un accessoire spécial pour l'incision profonde au silicium (machine à gravure ICP).

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Descrizzione

A ceramica di carburu di siliciu hà proprietà meccaniche eccellenti à a temperatura di l'ambienti, cum'è alta resistenza, alta durezza, altu modulu elasticu, etc., hà ancu una eccellente stabilità à alta temperatura cum'è una alta conduttività termica, un bassu coefficient di espansione termica, è una bona rigidità specifica è otticu. prestazione di trasfurmazioni.
Sò adattati soprattuttu per a produzzione di parti ceramiche di precisione per equipaghji di circuiti integrati cum'è macchine di litografia, principarmenti aduprate per fabricà u trasportatore / suscettore SiC, barche di wafer SiC, discu di suzione, piastra di raffreddamentu d'acqua, riflettore di misurazione di precisione, griglia è altre parti strutturali ceramiche.

traspurtadore 2

traspurtadore 3

traspurtadore 4

Vantaghji

Resistenza à alta temperatura: usu normale à 1800 ℃
Alta conduttività termica: equivalente à u materiale di grafite
Durezza alta: durezza seconda solu à u diamante, nitruru di boru
Resistenza à a corrosione: l'acidu forte è l'alkali ùn anu micca corrosione, a resistenza à a corrosione hè megliu cà u carburu di tungstenu è l'alumina.
Pesu ligeru: bassa densità, vicinu à l'aluminiu
Nisuna deformazione: bassu coefficiente di espansione termica
Resistenza à u scossa termica: pò resiste à forti cambiamenti di temperatura, resiste à u scossa termica è hà un rendimentu stabile
U trasportatore di carburu di silicuu cum'è u trasportatore di incisione sic, susceptor d'incisione ICP, sò largamente utilizati in semiconductor CVD, sputtering vacuum etc. Pudemu furnisce i clienti cù trasportatori di wafer persunalizati di materiali di siliciu è di carburu di siliciu per scuntrà diverse applicazioni.

Vantaghji

Pruprietà	Valore	Metudu
Densità	3,21 g/cc	Sink-float è dimensione
Calore specificu	0,66 J/g °K	Flash laser pulsatu
Forza Flexural	450 MPa 560 MPa	Curvatura à 4 punti, curvatura à 4 punti RT, 1300 °
Tenacità di frattura	2,94 MPa m1/2	Microindentazione
Durezza	2800	Vicker's, 500 g di carica
Modulu elasticu Modulu di Young	450 GPa 430 GPa	Curva 4 pt, curva RT4 pt, 1300 ° C
Grandezza di granu	2-10 µm	SEM

Profilu di a cumpagnia

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. hè un fornitore di punta di ceramica semiconductora avanzata è l'unicu fabricatore in Cina chì pò furnisce simultaneamente ceramica di carburu di siliciu di alta purezza (in particulare u SiC Recristallizatu) è un rivestimentu CVD SiC. Inoltre, a nostra cumpagnia hè ancu impegnata in i campi di ceramica cum'è l'alumina, nitruru d'aluminiu, zirconia è nitruru di silicium, etc.

I nostri prudutti principali includenu: discu di incisione in carburu di siliciu, rimorchiu di barca in carburu di siliciu, barca di wafer di carburu di siliciu (fotovoltaicu è semiconduttore), tubu di fornu in carburu di siliciu, paddle cantilever in carburu di siliciu, mandrini in carburu di siliciu, fasciu di carburu di siliciu, è ancu u rivestimentu CVD SiC è TaC. rivestimentu. I prudutti principarmenti usati in l'industria di semiconductor è fotovoltaica, cum'è l'equipaggiu per a crescita di cristalli, epitassi, incisione, imballaggio, rivestimenti è forni di diffusione, etc.
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