Bulk CVD SiC Ring

Descrizione breve:

Bulk CVD SiC rings usanu u gasu di fonte di silicuu (cum'è l'idruru di silicuu) è u gasu di fonte di carbone (cum'è u metanu) cum'è materie prime, reagendu à alta temperatura per deposità materiali SiC di grande dimensione nantu à un sustrato o muffa. Stu prucessu permette à SiC di esse dipositu uniformemente nantu à una grande zona, furmendu una struttura di anellu forte è consistente.

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Perchè hè l'anellu di gravure in carburu di siliciu?

RTPAnelli CVD SiCsò largamente usati in campi industriali è scientifichi in ambienti alta temperatura è corrosivu. Ghjoca un rolu impurtante in a fabricazione di semiconduttori, optoelettronica, machini di precisione è industria chimica. Applicazioni specifiche includenu:

1. Fabbricazione di semiconductor:RTP CVD SiC anellipò esse usatu per riscaldamentu è rinfrescante di l'equipaggiu di semiconductor, furnisce un cuntrollu di temperatura stabile è assicurendu a precisione è a coherenza di u prucessu.

2. Optoelettronica: Per via di a so eccellenti conduttività termale è a resistenza à alta temperatura, RTPAnelli CVD SiCpò esse usatu cum'è materiali di supportu è di dissipazione di calore per i laser, l'equipaggiu di cumunicazione in fibra ottica è i cumpunenti ottici.

3. Macchinari di precisione: RTP CVD SiC rings pò ièssiri usatu per i strumenti di precisione è l'equipaggiu in ambienti alta temperatura è corrosivu, cum'è furnace d'alta temperatura, dispusitivi vacuum è reattori chimichi.

4. Industria chimica: A causa di a so resistenza à a corrosione è a stabilità chimica, l'anelli RTP CVD SiC ponu esse usatu in cuntenituri, tubi è reattori in reazzioni chimichi è prucessi catalitici.

Sistema Epi

Sistema RTP

Sistema CVD

Prestazione di u produttu:

1. Meet u prucessu sottu 28nm

2. Super resistenza à a corrosione

3. Prestazione super pulita

4. Super durezza

5. Alta densità

6. Resistenza altu temperature

7. Resistenza à l'usura

Applicazione di u produttu:

I materiali di carburu di siliciu anu e caratteristiche di alta durezza, resistenza à l'usura, resistenza à a corrosione è stabilità à alta temperatura. I prudutti cù un rendimentu cumpletu eccellente sò largamente usati in i prucessi di incisione secca è TF / Diffusion.