4 Inch High Purity Semi-insulating HPSI SiC Double-side Polished Wafer Substrate

Descrizione breve:

I substrati di wafer lucidati in SiC da 4 pollici di alta purezza (HPSI) di Semicera sò cuncepiti cù precisione per un rendimentu elettronicu superiore. Questi wafers furniscenu un'eccellente conducibilità termale è insulazione elettrica, ideali per applicazioni avanzate di semiconductor. Affidati a Semicera per una qualità senza pari è l'innovazione in a tecnulugia di wafer.


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I substrati di wafer lucidati in SiC di 4 pollici di alta purezza (HPSI) di Semicera sò creati per risponde à e richieste esigenti di l'industria di i semiconduttori. Questi sustrati sò cuncepiti cù una piattezza è una purezza eccezziunali, chì offrenu una piattaforma ottima per i dispositi elettronichi di punta.

Questi wafers HPSI SiC sò distinti per a so conduttività termale superiore è e proprietà d'insulazione elettrica, chì li facenu una scelta eccellente per l'applicazioni à alta frequenza è alta putenza. U prucessu di lucidatura à doppia faccia assicura una rugosità minima di a superficia, chì hè cruciale per rinfurzà u rendiment è a longevità di u dispusitivu.

L'elevata purezza di i wafers SiC di Semicera minimizza i difetti è l'impurità, purtendu à tassi di rendiment più elevati è affidabilità di u dispusitivu. Questi sustrati sò adattati per una larga gamma d'applicazioni, cumprese i dispositi microonde, l'elettronica di putenza è e tecnulugia LED, induve a precisione è a durabilità sò essenziali.

Cù un focusu nantu à l'innuvazione è a qualità, Semicera utilizeghja tecniche avanzate di fabricazione per pruduce wafers chì rispondenu à i stretti requisiti di l'elettronica muderna. A lucidatura à doppia faccia ùn solu migliurà a forza meccanica, ma facilita ancu una integrazione megliu cù altri materiali semiconduttori.

Scegliendo i substrati di wafer lucidati a doppia faccia HPSI SiC semi-isolanti di 4 pollici di alta purezza di Semicera, i pruduttori ponu sfruttà i benefici di a gestione termica rinfurzata è l'insulazione elettrica, aprendu a strada per u sviluppu di dispositivi elettronici più efficaci è putenti. Semicera cuntinueghja à guidà l'industria cù u so impegnu à a qualità è l'avanzamentu tecnologicu.

Articuli

Pruduzzione

Ricerca

Dummy

Parametri Crystal

Politipu

4H

Errore di orientazione di a superficia

<11-20>4 ± 0,15 °

Parametri elettrici

Dopantu

Nitrogenu di tipu n

Resistività

0,015-0,025 ohm·cm

Parametri meccanichi

Diamitru

150,0 ± 0,2 mm

Spessore

350±25 μm

Orientazione pianu primaria

[1-100] ± 5 °

Lunghezza piatta primaria

47,5 ± 1,5 mm

Pianu secundariu

Nimu

TTV

≤5 μm

≤ 10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

arcu

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤ 35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rugosità frontale (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Struttura

Densità di micropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ca/cm2

impurità metalliche

≤5E10atomi/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ca/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Qualità Frontale

Fronte

Si

Finitura di a superficia

Si-face CMP

Particelle

≤60ea/wafer (taglia ≥0.3μm)

NA

Scratchs

≤5ea/mm. Lunghezza cumulativa ≤Diametru

Lunghezza cumulativa ≤2 * Diametru

NA

Buccia d'arancia / buche / macchie / striature / crepe / contaminazione

Nimu

NA

Chips di bordu / indentazioni / frattura / piastre esagonali

Nimu

Zone polytype

Nimu

Area cumulativa ≤ 20%

Area cumulativa ≤ 30%

Marcatura laser frontale

Nimu

Back Quality

Finitura di daretu

C-face CMP

Scratchs

≤5ea/mm, Lunghezza cumulativa ≤2 * Diametru

NA

Difetti in daretu (chips di bordu / indentazioni)

Nimu

Rugosità di u spinu

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcatura laser posteriore

1 mm (da u bordu superiore)

Edge

Edge

Smusso

Imballaggio

Imballaggio

Epi-ready cun imballaggio in vacuum

Imballaggio di cassette multi-wafer

*Note: "NA" significa senza dumanda Articuli micca citati ponu riferite à SEMI-STD.

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Wafers di SiC

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