Semicera 3C-SiC Wafer Substrates sò ingegneriati per furnisce una piattaforma robusta per l'elettronica di putere di a prossima generazione è i dispositi d'alta frequenza. Cù proprietà termali superiori è caratteristiche elettriche, questi sustrati sò pensati per risponde à i requisiti esigenti di a tecnulugia muderna.
A struttura 3C-SiC (Cubic Silicon Carbide) di Semicera Wafer Substrates offre vantaghji unichi, cumprese una conducibilità termale più alta è un coefficient di espansione termica più bassu cumparatu cù altri materiali semiconduttori. Questu li face una scelta eccellente per i dispositi chì operanu in temperature estreme è cundizioni d'alta putenza.
Cù una alta tensione di rottura elettrica è una stabilità chimica superiore, i substrati di wafer Semicera 3C-SiC assicuranu prestazioni è affidabilità di longa durata. Queste proprietà sò critichi per l'applicazioni cum'è u radar d'alta frequenza, l'illuminazione à u statu solidu è l'inverter di putenza, induve l'efficienza è a durabilità sò di primura.
L'impegnu di Semicera à a qualità si riflette in u meticuloso prucessu di fabricazione di i so substrati Wafer 3C-SiC, assicurendu uniformità è coerenza in ogni batch. Questa precisione cuntribuisce à u rendiment generale è a longevità di i dispositi elettronici custruiti nantu à elli.
Scelta Semicera 3C-SiC Wafer Substrates, i pruduttori accede à un materiale di punta chì permette u sviluppu di cumpunenti elettronici più chjuchi, più veloci è più efficaci. Semicera cuntinueghja à sustene l'innuvazione tecnologica furnisce soluzioni affidabili chì rispondenu à e richieste in evoluzione di l'industria di i semiconduttori.
Articuli | Pruduzzione | Ricerca | Dummy |
Parametri Crystal | |||
Politipu | 4H | ||
Errore di orientazione di a superficia | <11-20>4 ± 0,15 ° | ||
Parametri elettrici | |||
Dopantu | Nitrogenu di tipu n | ||
Resistività | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Parametri meccanichi | |||
Diamitru | 150,0 ± 0,2 mm | ||
Spessore | 350±25 μm | ||
Orientazione pianu primaria | [1-100] ± 5 ° | ||
Lunghezza piatta primaria | 47,5 ± 1,5 mm | ||
Pianu secundariu | Nimu | ||
TTV | ≤5 μm | ≤ 10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
arcu | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤ 35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Rugosità frontale (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Struttura | |||
Densità di micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ca/cm2 |
impurità metalliche | ≤5E10atomi/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ca/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Qualità Frontale | |||
Fronte | Si | ||
Finitura di a superficia | Si-face CMP | ||
Particelle | ≤60ea/wafer (taglia ≥0.3μm) | NA | |
Scratchs | ≤5ea/mm. Lunghezza cumulativa ≤Diametru | Lunghezza cumulativa ≤2 * Diametru | NA |
Buccia d'arancia / buche / macchie / striature / crepe / contaminazione | Nimu | NA | |
Chips di bordu / indentazioni / frattura / piastre esagonali | Nimu | ||
Zone polytype | Nimu | Area cumulativa ≤ 20% | Area cumulativa ≤ 30% |
Marcatura laser frontale | Nimu | ||
Back Quality | |||
Finitura di daretu | C-face CMP | ||
Scratchs | ≤5ea/mm, Lunghezza cumulativa ≤2 * Diametru | NA | |
Difetti in daretu (chips di bordu / indentazioni) | Nimu | ||
Rugosità di u spinu | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Marcatura laser posteriore | 1 mm (da u bordu superiore) | ||
Edge | |||
Edge | Smusso | ||
Imballaggio | |||
Imballaggio | Epi-ready cun imballaggio in vacuum Imballaggio di cassette multi-wafer | ||
*Note: "NA" significa senza dumanda Articuli micca citati ponu riferite à SEMI-STD. |