Introduzione di u trasportatore di wafer
CATAGORIA PRODUCT
▶Sistema di Carrier Wafer per Processi PECVD & TALOX
• Barca di grafite PECVD & TALOX (M4 ~ M12)
• SM-Boat verticale (M4, M6)
• Implant & shower Part Graphite (M4 ~ M6)
• C/C Tray & Coating Ceramic
• Metal RIE-Tray & Ceramic Coating
• Vacuum Sealing : O-Ring & SQ-Ring
▶Prucessu di trasferimentu di Texturing & Wet Etching
• LSC H-Carrier o cassette (M4~M12)
• LSC V-Carrier o cassette (M4~M12)
• ASC Carrier o cassette (M4, M6)
• W/F Carrier & Storage Box (M4 ~ M12)
• Trasportu Wheel (Roller) Series
▶Carrier Cellulare Solare & Metal Carrier
• TRC Carrier o cassette (M4 ~ M12)
• Magazine (cù CINTURA)
BARCA DI GRAFITE (Tipu H)
19P6-216CT (WF M4 ~ M12)
BARCA DI GRAFITE (Tipu H)
21P6-240CT WF M4 ~ M12)
BARCA DI GRAFITE (Tipu H)
23P7-308CT (W/F M4~M12)
BARCA DI GRAFITE (Tipu H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
BARCA DI GRAFITE (Tipu H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF CARRIER & STORAGE BOX (~M12)
C/C TRAY o CARRIER (M4 ~ M10)
C/C TRAY o CARRIER (M4 ~ M10)
BARCA VERTICALE (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER (~M12)
TRC CARRIER (~M12)
BARCA DI GRAFITE (M12)
Sistema Wafer Carrier per u prucessu PECVD
▶ BARCA DI GRAPHITE (CT-Designed) Processu M10/M12
• CONCEPTU SPECIAL DESIGN
▶ BARCA DI GRAPHITE (CT-Designed) Prucessu M4/M6
▶ Pezzi d'accessori di BARCA
▶ BARCA VERTICALE-161.7mm WAFER
▶ BARCA VERTICALE - WAFER 166mm
▶ BARCA VERTICALE-161.7mm, WAFER 166mm
Carrier di Cellule Solari è Carrier TRC Metal
TIPU: Automatizazione
TAGLIA WAFER : ① 156 × 156 MM ② 156,75 × 156,75 MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
USAGE : Carry (Cassette)
CAPACITÀ: 100 fogli
PASSO: 4,76 mm / 5,953 mm / 6,35 mm
DIMENSIONE: Circa 559 × 220 × 220 MM
Circa 712 × 260 × 260 MM
AVANTAGE : Atmosfera
MATERIALE : FIAMMA, BARRA LATERALE-Alluminiu (anodizazione)
PIASTRA LATERALE-POM (antistatica)
Copertura di a barra inferiore-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (LINEA D'UTENTE)
TRC-METAL CARRIER (LINEA D'UTENTE)
TRC-METAL CARRIER (LINEA D'UTENTE)
PLACCA DI DOCCIA & IMPLANT, CARRIER
