Chì sò i passi principali in a trasfurmazioni di sustrati SiC?

 

Cumu pruduciamu i passi di trasfurmazioni per i sustrati SiC sò i seguenti:

 

1. Orientazione Crystal:

Utilizà a diffrazione di raghji X per orientà u lingotto di cristallo. Quandu un fasciu di raghji X hè direttu à a faccia di cristallu desiderata, l'angolo di u fasciu diffrattu determina l'orientazione di u cristallu.

 

2. Diametru Esternu Grinding:

I cristalli unichi cultivati ​​in crucibles di grafite spessu superanu i diametri standard. A macinazione di diametru esternu li riduce à dimensioni standard.

 

 

3.End Face Grinding:

I sustrati 4H-SiC di 4-inch sò tipicamente dui bordi di posizionamentu, primariu è secundariu. A rettifica di faccia finale apre questi bordi di posizionamentu.

 

4. Sega à filu:

A sega à filu hè un passu cruciale in a trasfurmazioni di substrati 4H-SiC. Cracks è danni sub-superficiali causati durante a serratura di filu anu un impattu negativu in i prucessi successivi, allargendu u tempu di trasfurmazioni è causendu a perdita di materiale. U metudu più cumuni hè a sega multi-fili cù abrasivi diamantati. Un muvimentu alternativu di fili metallici uniti cù abrasivi di diamanti hè utilizatu per tagliate u lingotto 4H-SiC.

 

5. Smussatura:

Per prevene l'asciugatura di u bordu è riduce e perdite di cunsumu durante i prucessi successivi, i bordi taglienti di i chips segati in filu sò smussati à forme specificate.

 

6. Diluzione :

A sega di filu lascia assai graffi è danni sottu à a superficia. A diluzione hè fatta cù roti di diamanti per sguassà queste difetti quant'è pussibule.

 

7. Macinazione :

Stu prucessu include sgrossatura è macinazione fine cù carburu di boru di dimensioni più chjuche o abrasivi di diamante per sguassà i danni residuali è i danni novi introdutti durante a diluzione.

 

8. Pulitura:

L'ultimi passi implicanu un lucidatura grossa è una lucidatura fine cù abrasivi à l'alumina o à l'ossidu di siliciu. U liquidu di lucidatura ammorbidisce a superficia, chì hè poi eliminata meccanicamente da abrasivi. Stu passu assicura una superficia liscia è senza danni.

 

9. Pulizia :

Eliminazione di particelle, metalli, filmi d'ossidu, residui organici è altri contaminanti lasciati da i passi di trasfurmazioni.