In l'attrezzatura di incisione di plasma, i cumpunenti ceramichi ghjucanu un rolu cruciale, cumpresu aanellu di focus.U anellu di focus, pusatu intornu à l'ostia è in cuntattu direttu cun ellu, hè essenziale per fucalizza u plasma nantu à l'ostia appiendu tensione à l'anellu. Questu aumenta l'uniformità di u prucessu di incisione.
Applicazione di anelli di messa a fuoco SiC in macchine per incisione
cumpunenti SiC CVDin macchine incisione, cum'èanelli di focus, doccia a gas, platine, è anelli di bordu, sò favuriti per via di a bassa reattività di SiC cù i gasi di incisione di cloru è fluoru è a so conduttività, facendu un materiale ideale per l'equipaggiu di incisione di plasma.
Vantaghji di SiC cum'è un Material Ring Focus
A causa di l'esposizione diretta à u plasma in a camera di reazzione di vacuum, l'anelli di focu deve esse fatti da materiali resistenti à u plasma. L'anelli di focu tradiziunali, fatti di siliciu o di quartz, soffrenu di una scarsa resistenza à l'incisione in plasma à base di fluoru, chì porta à una corrosione rapida è una efficienza ridutta.
Comparaison entre Si et CVD SiC Focus Rings:
1. Densità più alta:Riduce u volume di incisione.
2. Wide Bandgap: Fornisce un insulamentu eccellente.
3. High Conductivity Thermal & Low Expansion Coefficient: Resistente à u scossa termale.
4. Alta elasticità:Bona resistenza à l'impattu meccanicu.
5. Durezza alta: Usura è resistente à a corrosione.
SiC sparte a conduttività elettrica di u siliciu mentre offre una resistenza superiore à l'incisione ionica. Quandu a miniaturizazione di u circuitu integratu avanza, a dumanda di prucessi di incisione più efficaci aumenta. L'equipaggiu di incisione di plasma, in particulare quelli chì utilizanu plasma capacitivu accoppiatu (CCP), necessitanu una alta energia di plasmaAnelli di focus SiCsempre più populari.
Parametri Si è CVD SiC Focus Ring:
| Parametru | Silicium (Si) | CVD Carbure di Siliciu (SiC) |
| Densità (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Band Gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Conduttività termica (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Coefficient d'espansione termica (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Modulu elasticu (GPa) | 150 | 440 |
| Durezza | Bassa | Più altu |
Prucessu di fabricazione di SiC Focus Rings
In l'equipaggiu di semiconductor, CVD (Deposizione di Vapuri Chimica) hè comunmente utilizatu per pruduce cumpunenti SiC. L'anelli di focus sò fabbricati dipositu SiC in forme specifiche attraversu a deposizione di vapore, seguitu da un processu meccanicu per furmà u pruduttu finali. U rapportu di materiale per a deposizione di vapore hè fissatu dopu una sperimentazione estensiva, facendu parametri cum'è a resistività consistente. Tuttavia, l'equipaggiu di incisione differente pò esse bisognu di anelli di focu cù resistività variate, chì necessitanu novi esperimenti di rapportu di materiale per ogni specificazione, chì richiede tempu è costu.
Per sceglieAnelli di focus SiCdaSemicera Semiconductor, i clienti ponu ottene i benefici di ciculi di rimpiazzamentu più longu è prestazioni superiori senza un incrementu sustinibili di u costu.
Cumpunenti di Trattamentu Termale Rapidu (RTP).
E proprietà termiche eccezziunali di CVD SiC u facenu ideale per l'applicazioni RTP. I cumpunenti RTP, cumprese anelli di bordu è platine, beneficianu di CVD SiC. Durante l'RTP, i impulsi di calore intensi sò appiicati à wafers individuali per brevi durazioni, seguitu da un rapidu cooling. L'anelli di bordu CVD SiC, essendu magre è avè una massa termica bassa, ùn conservanu micca un calore significativu, chì li face micca affettati da i prucessi rapidi di riscaldamentu è di rinfrescante.
Componenti di incisione al plasma
L'alta resistenza chimica di CVD SiC u rende adattatu per l'applicazioni di incisione. Parechje camere di incisione utilizanu platti di distribuzione di gas CVD SiC per distribuisce gasi di incisione, chì cuntenenu millaie di buchi minusculi per a dispersione di plasma. Comparatu à i materiali alternativi, CVD SiC hà una reattività più bassa cù i gasi di cloru è fluoru. In l'incisione secca, i cumpunenti CVD SiC cum'è anelli di focus, platine ICP, anelli di cunfini è pomi di doccia sò cumunimenti usati.
L'anelli di focu SiC, cù a so tensione applicata per a focalizazione di plasma, deve avè una conduttività sufficiente. Tipicamente fatti di siliciu, l'anelli di focus sò esposti à gasi reattivi chì cuntenenu fluoru è cloru, chì portanu à a corrosione inevitabbile. L'anelli di focus SiC, cù a so resistenza superiore à a corrosione, offre una vita più longa cumparatu cù l'anelli di siliciu.
Paragone di u ciclu di vita:
· SiC Focus Rings:Sustituitu ogni 15 à 20 ghjorni.
· Anelli di focus in silicone:Sustituitu ogni 10 à 12 ghjorni.
Malgradu chì l'anelli SiC sò 2 à 3 volte più caru cà l'anelli di siliciu, u ciculu di rimpiazzamentu allargatu riduce i costi di rimpiazzamentu generale di i cumpunenti, postu chì tutte e parti di usura in a camera sò rimpiazzate simultaneamente quandu a camera hè aperta per a sostituzione di l'anellu di focus.
Semicera Semiconductor's SiC Focus Rings
Semicera Semiconductor offre anelli di focus SiC à prezzi vicinu à quelli di l'anelli di siliciu, cù un tempu di prucedura di circa 30 ghjorni. Integrando l'anelli di focus SiC di Semicera in l'equipaggiu di incisione di plasma, l'efficienza è a longevità sò significativamente migliorate, riducendu i costi di mantenimentu generale è aumentendu l'efficienza di a produzzione. Inoltre, Semicera pò persunalizà a resistività di l'anelli di focus per risponde à esigenze specifiche di i clienti.
Sceglie anelli di focus SiC da Semicera Semiconductor, i clienti ponu ottene i benefici di ciculi di rimpiazzamentu più longu è prestazioni superiori senza un aumentu sustanziale di u costu.
Tempu di post: Jul-10-2024