Cumu misurà a resistenza di foglia di una film fina?

I filmi sottili usati in a fabricazione di semiconduttori anu tutti resistenza, è a resistenza di film hà un impattu direttu nantu à u rendiment di u dispusitivu. Di solitu ùn misurà micca a resistenza assoluta di a film, ma aduprà a resistenza di foglia per caratterizà.

Chì sò a resistenza di foglia è a resistività di u voluminu?

A resistività di u voluminu, cunnisciuta ancu com'è resistività di u voluminu, hè una pruprietà inherente di un materiale chì caratterizeghja quantu u materiale impedisce u flussu di corrente elettrica. U simbulu cumunimenti usatu ρ rapprisenta, l'unità hè Ω.

A resistenza di foglia, cunnisciuta ancu com'è resistenza di fogli, u nome inglese hè resistenza di fogli, chì si riferisce à u valore di resistenza di u film per unità di area. Symboles couramment utilisés Rs ou ρs pour exprimer, l'unité est Ω/sq ou Ω/□

A relazione trà i dui hè: resistenza di foglia = resistività voluminu / spessore di film, vale à dì, Rs = ρ/t

Perchè misurà a resistenza di u fogliu?

A misurazione di a resistenza assoluta di un film richiede una cunniscenza precisa di e dimensioni geomètrica di a film (lunghezza, larghezza, spessore), chì hà assai variàbili è hè assai cumplessu per filmi assai fini o di forma irregulare. A resistenza di u fogliu hè solu ligata à u grossu di a film è pò esse testata rapidamente è direttamente senza calculi di dimensione cumplicati.

Chì filmi anu bisognu di misurà a resistenza di foglia?

In generale, i filmi cunduttivi è i filmi semiconduttori deve esse misurati per a resistenza quadrata, mentre chì i filmi insulanti ùn anu micca bisognu à esse misurati.
In u doping di semiconductor, a resistenza di foglia di siliciu hè ancu misurata.

Cumu misurà a resistenza quadru?

U metudu di quattru sonde hè generalmente utilizatu in l'industria. U metudu di quattru sonde pò misurà a resistenza quadru chì varieghja da 1E-3 à 1E + 9Ω/sq. U metudu di quattru sonde pò evità errori di misurazione per via di a resistenza di cuntattu trà a sonda è a mostra.

Metodi di misurazione:
1) Pone quattru sondi disposti linearmente nantu à a superficia di a mostra.
2) Applica una corrente constante trà e duie sonde esterne.
3) Determinate a resistenza misurà a diffarenza potenziale trà e duie sonde interne

RS: resistenza di foglia
ΔV: Variazione di tensione misurata trà e sonde interne
I : Corrente applicata trà e sonde esterne