Riscaldatori di grafite rivestiti di SiC personalizzati per wafers semiconduttori

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Descrizione breve:

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. hè un fornitore leader di ceramica semiconductor avanzata è l'unicu fabricatore in Cina chì pò furnisce simultaneamente ceramica di carburu di siliciu di alta purezza (in particulare uRecristalizatu SiC) è rivestimentu CVD SiC.Inoltre, a nostra cumpagnia hè ancu impegnata in i campi di ceramica cum'è l'alumina, nitruru d'aluminiu, zirconia è nitruru di silicium, etc.

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Caratteristiche principali di u riscaldatore di grafite:

1. uniformità di struttura di riscaldamentu.

2. bona conductivity ilettricu è alta carica elettrica.

3. resistenza à currusioni.

4. inossidabilità.

5. alta purità chimica.

6. altu forza miccanicu.

U vantaghju hè efficienza energetica, altu valore è mantenimentu bassu.Pudemu pruduce un crogiole di grafite anti-ossidazione è di longa vita, muffa di grafite è tutte e parti di riscaldatore di grafite.

Paràmetri principali di u riscaldatore di grafite

Specificazione tecnica	Semicera-M3
Densità apparente (g/cm3)	≥ 1,85
Contenutu di Ash (PPM)	≤500
Durezza Shore	≥45
Résistance spécifique (μ.Ω.m)	≤12
Forza à a flessione (Mpa)	≥40
Forza di compressione (Mpa)	≥70
Max.Taille de grain (μm)	≤43
Coefficient of Thermal Expansion Mm/°C	≤4,4 * 10-6