4 Inch SiC Substrate N-tipu

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Breve descrizzione:

Semicera offre una vasta gamma di wafer SiC 4H-8H. Per parechji anni, avemu statu un fabricatore è fornitore di prudutti à l'industrii di semiconductor è fotovoltaica. I nostri prudutti principali includenu: piastre di incisione in carburu di siliciu, rimorchi per barche in carburu di siliciu, barche in wafer in carburu di siliciu (PV & Semiconductor), tubi per forni in carburu di siliciu, palette cantilever in carburu di siliciu, mandrini in carburu di siliciu, travi in carburu di siliciu, è ancu rivestimenti CVD SiC è rivestimenti TaC. Copre a maiò parte di i mercati europei è americani. Aspittemu di esse u vostru cumpagnu à longu andà in Cina.

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U materiale di cristallu unicu di carburu di siliciu (SiC) hà una larga larghezza di banda larga (~ Si 3 volte), alta conduttività termica (~ Si 3.3 volte o GaAs 10 volte), alta rata di migrazione di saturazione di l'elettroni (~ Si 2.5 volte), alta rottura elettrica. campu (~ Si 10 volte o GaAs 5 volte) è altre caratteristiche eccezziunale.

L'energia di Semicera pò furnisce i clienti cun sustrato di carburu di siliciu di alta qualità Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating); Inoltre, pudemu furnisce i clienti cù fogli epitassiali di carburu di silicium homogeni è eterogenei; Pudemu ancu persunalizà u fogliu epitaxial secondu i bisogni specifichi di i clienti, è ùn ci hè micca quantità minima di ordine.

Articuli	Pruduzzione	Ricerca	Dummy
Parametri Crystal
Politipu	4H
Errore di orientazione di a superficia	<11-20>4 ± 0,15 °
Parametri elettrici
Dopantu	Nitrogenu di tipu n
Resistività	0,015-0,025 ohm·cm
Parametri meccanichi
Diamitru	99,5 - 100 mm
Spessore	350±25 μm
Orientazione pianu primaria	[1-100] ± 5 °
Lunghezza piatta primaria	32,5 ± 1,5 mm
A pusizioni piatta secundaria	90 ° CW da u pianu primariu ± 5 °. silicone a faccia in su
Lunghezza piatta secundaria	18 ± 1,5 mm
TTV	≤5 μm	≤ 10 μm	≤ 20 μm
LTV	≤2 μm (5mm*5mm)	≤5 μm (5mm*5mm)	NA
arcu	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
Warp	≤ 20 μm	≤45 μm	≤50 μm
Rugosità frontale (Si-face) (AFM)	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Struttura
Densità di micropipe	≤1 ea/cm2	≤5 ca/cm2	≤10 ea/cm2
impurità metalliche	≤5E10atomi/cm2		NA
BPD	≤1500 ea/cm2	≤3000 ea/cm2	NA
TSD	≤500 ca/cm2	≤1000 ea/cm2	NA
Qualità Frontale
Fronte	Si
Finitura di a superficia	Si-face CMP
Particelle	≤60ea/wafer (taglia ≥0.3μm)	NA
Scratchs	≤2ea/mm. Lunghezza cumulativa ≤Diametru	Lunghezza cumulativa ≤2 * Diametru	NA
Buccia d'arancia / buche / macchie / striature / crepe / contaminazione	Nimu		NA
Chips di bordu / indentazioni / frattura / piastre esagonali	Nimu		NA
Zone polytype	Nimu	Area cumulativa ≤ 20%	Area cumulativa ≤ 30%
Marcatura laser frontale	Nimu
Back Quality
Finitura di daretu	C-face CMP
Scratchs	≤5ea/mm, Lunghezza cumulativa ≤2 * Diametru	NA
Difetti in daretu (chips di bordu / indentazioni)	Nimu
Rugosità di u spinu	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Marcatura laser posteriore	1 mm (da u bordu superiore)
Edge
Edge	Smusso
Imballaggio
Imballaggio	U saccu internu hè pienu di nitrogenu è u saccu esterno hè aspiratu. Cassette multi-wafer, epi-ready.
*Note: "NA" significa senza dumanda Articuli micca citati ponu riferite à SEMI-STD.